Metal Oksit Yarıiletken Gaz Sensör Grubu

Grup Koordinatörü: Prof. Dr. Mehmet Ertuğrul

Grup ÜyeleriProf. Dr. Ümit Alver

   Dr. Öğr. Üyesi Soheil Mobtakeri

   Dr. Öğr. Üyesi Sedanur Keleş   

   Dr. Öğr. Üyesi Saman Habashyani                  

   Araş. Gör. Mücahit Oflaz

Çalışma Alanları:

Metal oksit yarı iletken (MOY) gaz sensörleri, havadaki formaldehit, hidrojen, doğal gaz ve diğer gazları tespit edebilen yaygın bir gaz sensörleridir. MOY sensörler, oksit yarı iletken malzemelerin elektriksel özelliklerini değişimini kullanarak algılama işlemini gerçekleştirmektedir bu nedenle resistif MOY gaz sensörleri olarak da  adlandırılırlar. Gaz molekülleri MOY yüzeyleriyle reaksiyona girdiğinde, MOY’in  direnç değerleri değişmekte  ve algılama gerçekleşmektedir. Bu tip sensörler, yüksek hassasiyet, rahat çalışma, küçük boyut, düşük maliyet, kısa tepki süresi ve kurtarma süresi vb. avantajlara sahiptir. MOY gaz sensörleri genellikle bir metal oksit yarı iletken tabaka, bir ısıtıcı ve bir çift elektrottan oluşur. En yaygın kullanılan metal oksitler  kalay, çinko, titanyum ve tungsten oksitlerdir. Bu metal oksitler, gaz algılama tepkisini iyileştirmek için Pt, Ag, Au veya Pd gibi soy metallerle veya Al, Ga veya Zr gibi diğer metallerle katkılanabilir. Sensörün hassasiyetini ve seçiciliğini artırmak için sensör cihazlarına bir ısıtıcı yerleştirilir. Isıtıcı, sensöre genellikle 100 ile 400°C arasında sabit bir çalışma sıcaklığı sağlar. Bu yükseltilmiş sıcaklık, adsorpsiyon ve reaksiyon süreçlerini hızlandırarak sensörün tepki hızını artırır.